爱德华edwardsiH600真空泵维修

爱德华EDWARDS晶圆半导体iH600干式真空泵维修代理商维修
概述
Edwards 高级半导体真空泵维修代理商已经过现场应用证明，可以按照较高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修代理商维修
  
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
*预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的**。
整体式轴杆*使用电机联结器，而*五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修代理商维修
技术数据
   
峰值速度 600 m3h-1
  353 cfm
  10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
  5.3 x 10-4 Torr
  0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
  4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l

  
所有数字均为无气镇时的典型值。



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